กระบวนการอบชุบทางความร้อนประเภทนี้จะกระทำในระบบสูญญากาศ ผิวของชิ้นงานจะสะอาด ทนทานต่อการเสื่อมสภาพ เหมาะกับการอบชุบชิ้นส่วนแม่พิมพ์โลหะหรือชิ้นส่วนที่ทำจากเหล็กประเภทต่างๆ