เครื่องวัดโปรไฟล์แบบ 3 มิติด้วยแสง
(3D Optical Profilometer)

คือ เครื่องวัดลักษณะพื้นผิวแบบสามมิติ (3 มิติ) ที่ใช้ แสงหรือเลเซอร์ ในการตรวจสอบความสูง ความลึก และความขรุขระของพื้นผิวชิ้นงาน โดยไม่ต้องสัมผัสกับชิ้นงาน โดยเครื่องจะยิง ลำแสง ไปที่พื้นผิวชิ้นงานแล้ววัด “ตำแหน่งแสงสะท้อนกลับ” เพื่อสร้างข้อมูล ความสูงในแต่ละจุดของพื้นผิว เมื่อรวมข้อมูลทั้งหมดเข้าด้วยกัน จะได้เป็น ภาพ 3D ของผิวชิ้นงาน เหมาะสำหรับการใช้งาน

• ความขรุขระของพื้นผิว
  (Surface roughness, Ra, Rz, Sa, Sz)
• ความสูง ความลึก และปริมาตรของโครงสร้างจุลภาค
• ลักษณะพื้นผิว 3 มิติแบบละเอียด
• ความหนาของชั้นเคลือบหรือฟิล์มบาง
• การวิเคราะห์สึกหรอหรือรอยขีดข่วน
  (Wear / Scratch measurement)